2013-02-04 14 views

답변

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원형 웨이퍼는 몇 가지 장점을 가지고 팹 : 결과로 구심력에 의해 웨이퍼에 걸쳐 고르게 분포 포토 레지스트 그들을 고속으로 회전시킵니다. 직사각형 또는 정사각형 웨이퍼에서는 작동하지 않습니다.

웨이퍼 크기가 커지면 가장자리에서 낭비되는 양이 줄어 듭니다. 오늘날 450mm가 차기 개발로 300mm가 일반적입니다.

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사진 용 레지스트 란 무엇입니까? – mcandre

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포토 리소그래피에 대한 자세한 내용은이 [article] (http://en.wikipedia.org/wiki/Photolithography)를 참조하십시오. – marko